隨著MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)的發(fā)展，目前已經(jīng)廣泛涉及醫(yī)學(xué)、生物、航天航空、軍事等各個領(lǐng)域，由于各個應(yīng)用領(lǐng)域的工作環(huán)境不同，所以對其進行機械動態(tài)特性的測試和研究不僅僅局限于常態(tài)環(huán)境中。研究 MEMS 產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性必須考慮不同應(yīng)用領(lǐng)域的環(huán)境因素，如高溫環(huán)境、低溫環(huán)境、高加速度環(huán)境、真空環(huán)境、高腐蝕性環(huán)境中的一種或者多種，這是 MEMS 器件設(shè)計、制作和封裝等技術(shù)的關(guān)鍵，滿足器件向智能化和集成化發(fā)展方向的需求。今天Aigtek安泰電子就帶你具體了解一下。     

 

微機電系統(tǒng)示意圖

對于大多數(shù) MEMS 傳感器和執(zhí)行器來說，能夠使其正常使用和發(fā)揮其功能性，主要是通過內(nèi)部可動微結(jié)構(gòu)在允許的范圍內(nèi)進行一定變形和位移來實現(xiàn)的，因而對MEMS 微結(jié)構(gòu)進行模態(tài)測試就必須使其處于振動的狀態(tài)，也就是對其進行激勵。理想的 MEMS 微結(jié)構(gòu)激勵方法應(yīng)該具有三個特點：一是非接觸性；二是非破壞性；三是較大的激振帶寬。 MEMS測試的激勵方法主要包括有靜電激勵、磁激勵、熱激勵、壓電激勵、聲激勵和基于壓電陶瓷的底座激勵。 在這些激勵方法中，選擇合適的激勵裝置尤為重要，Aigtek超聲功率放大器最大輸出電壓10KV,最大輸出功率10KW，最大輸出電流64Ap，帶寬（-3dB）高達DC~25MHz，電壓增益數(shù)控可調(diào)。滿足不同壓激勵指標(biāo)的需求。它還被廣泛應(yīng)用在細胞微粒分選，電場粒子偏轉(zhuǎn)，無線電能傳輸?shù)妊芯款I(lǐng)域。

 

       通過以上的介紹，相信您對超聲功率放大器在超聲波MEMS測試中的應(yīng)用有了清晰的了解，如想了解更多應(yīng)用，請持續(xù)關(guān)注安泰電子官網(wǎng)m.sillink.com.cn或撥打029-88865020。Aigtek是國內(nèi)專業(yè)從事測量儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)，一直專注于超聲功率放大器、功率放大器、高壓放大器、功率信號源、功率放大模塊、計量校準(zhǔn)源等測試儀器產(chǎn)品的研發(fā)與制造。

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