實驗名稱：低階大行程像差補償器件性能測試

　　測試目的：根據(jù)設計方案和研究結果制備了基于低階像差的3單元單壓電片變形鏡作為低階大行程像差補償器件，搭建實驗系統(tǒng)對其相關性能進行了測試，并與仿真結果進行了對比分析。

　　測試設備：高壓放大器、哈特曼傳感器、雙壓變形鏡、計算機等。

　　實驗過程：

　　圖1：變形鏡影響函數(shù)測試系統(tǒng)結構流程圖

　　圖2：實驗光路圖

　　哈特曼波前傳感器自帶光源發(fā)出的光束經(jīng)傳感器內(nèi)準直擴束系統(tǒng)和分光反射鏡組合后入射到變形鏡表面，光束經(jīng)變形鏡反射后，帶有變形鏡鏡面信息的光束入射到哈特曼傳感器內(nèi)采集相機靶面上，由哈特曼傳感器控制計算機完成波前復原，完成變形鏡面形的測試。

　　波前探測裝置為自帶準直光源、通光孔徑為30mm的哈特曼傳感器，探測結果和圖像采集均由波前采集控制中心完成，驅動電壓由控制中心產(chǎn)生電壓信號，經(jīng)47通路的高壓放大器放大輸出。

　　實驗結果：

　　圖3：激光干涉儀測初始面形圖

　　從圖中結果可知，變形鏡全口徑面形PV大約為3.35個波長，15mm有效口徑內(nèi)面形PV大約為1.12個波長，干涉儀測試激光波長為650nm，有效口徑內(nèi)初始面形PV值為0.73μm。硅鏡拋光過程和變形鏡粘接過程都可能導致初始面形的不平整，在閉環(huán)校正過程中，變形鏡能對自身初始面形進行校正。

　　圖4：哈特曼傳感器測初始面形圖

　　用哈特曼傳感器測量有效口徑的初始面形結果如上圖，初始面形PV值為0.79μm，與干涉儀測量結果大致相同。

　　影響函數(shù)反應了變形鏡在驅動電壓下的表面變形能力。影響函數(shù)的面形特點直接決定了變形鏡對波前畸變的補償精度，其幅值大小也決定了變形鏡的校正行程，行程越大，變形鏡單次校正像差的能力越強，閉環(huán)校正速度也越快。

　　電壓放大器推薦：ATA-7010

　　圖：ATA-7010高壓放大器指標參數(shù)

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